全自動(dòng)硅片清洗設(shè)備組成

　　該設(shè)備主要由上料臺(tái)、清洗部分、移載機(jī)械手、旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)、抽風(fēng)系統(tǒng)及電控部分組成。

　　描述

　　1. 此裝置是一個(gè)全自動(dòng)的處理設(shè)備。

　　2. 10.4英寸大型觸摸屏顯示 / 檢測 / 操作。

　　3. 清洗工作過程由 歐姆龍系列PLC控制。

　　4. 清洗作業(yè)員將裝滿工件的清洗籃放置在進(jìn)料臺(tái)上，清洗籃根據(jù)設(shè)定的程序，自動(dòng)依次送到各工位，對(duì)工件進(jìn)行清洗、漂洗，漂洗后的工件由鏈條傳輸?shù)较铝衔唬�由鏈條送出，最后由作業(yè)員將清洗籃取走。

　　被清洗物

　　硅料多晶邊皮，頂料，片料，堝底料以及原生多晶料等。